■ SiC3コーティング グラファイト ■ 販売開始!

立方晶窒化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン
短納期! 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材

MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコーティンググラファイトトレーを短納期で販売致します。

● 高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
● 密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
● コート母材:高純度グラファイト
● コート膜厚:20um〜120um
● コート膜均一性(100umの場合):±10um

クリーン・テント

Class 100 (ISO 5)
設置〜撤収, 持運びが容易な簡易クリーンブース

● Model.CT675:3,650(L) x 2,500(W) x 2,150(H)mm
● Model.CT750:4,250(L) x 2,500(W) x 2,150(H)mm
● Model.CT1700:6,100(L) x3,650(W) x 2,150(H)mm

Moorfield Nanotechnology社(英)の簡易クリーンブース「クリーン・テント」
収縮式の画期的なクリーンブース、設置/撤収/持運びが容易


 薄膜用 基板加熱ヒーター

超高温実験炉, 加熱装置超高温実験炉, 加熱装置

 超高温実験炉, 加熱装置

薄膜実験装置

 CVD, PVD薄膜実験装置

 SiC3コーティング

 真空コンポーネント

 クリーンテント

 温度計測機器

真空装置カスタムメイド

 真空装置カスタムメイド

■販売中止製品のお知らせ ■

販売中止製品の一覧

● IRT-2000/2100赤外線温度センサ(2018.4販売終了)
● IRT-4000赤外線温度センサ(2018.4販売終了)

※IRT-2100-3-N-1のみ残数量僅かですがキャンペーン価格にて販売致します。

2017.4.21
nanoPVD-T15A卓上型高性能真空蒸着装置・製品情報を掲載開始しました。
2016.10.3
基板加熱ヒーター製作事例写真(セラミック・トップ・ヒーター)を追加しました。
2016.1.11
新製品『ExTemp本質安全防爆赤外線放射温度センサー』販売開始!
2015.6.23
【nanoCVDグラフェン/CNT合成装置】を用いた研究成果が、下記の科学雑誌に掲載されました。
“Advanced Material誌”, “Scientific Reports誌”, “ACS NANO誌”

2018.3.20
JSAP Expo Spring2018( 第65回応用物理学会春季学術講演会)
会場スポンサー出展
会期:2018年3月17日(土)〜3月20日(火)
早稲田大学 西早稲田キャンパス 57号館
2017.11.27
JCCG-46(第46回結晶成長国内会議)出展
2017.9.8
JSAP EXPO 2017 Autumn@福岡国際会議場
第77回応用物理学会秋季学術講演会 付設展示会
多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2017.7.5
第14回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議(ISSP2017)
金沢工業大学 扇が丘キャンパス
多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2016.12.1
プラズマ・核融合学会 年会展示会『Plasma Expo2017』ご来場御礼
東北大学 青葉山キャンパス「カタールサイエンスホール」 (2016.11.29〜12.1)
2016.8.8
JSAP EXPO 2016 Autumn出展
会期:2016年9月13日(火)13:00〜9月16日(金)
場所:朱鷺メッセ 展示ホール
2015.9.11
JSAP EXPO 2015 Autumn出展
会期:2015年9月13日(日)13:00〜9月16日(水)15:30
場所:名古屋国際会議場 イベントホールPA 小間No.AV-13
2015.3.10
JSAP EXPO 2015 Spring出展
会期:2015年3月11日(水)〜3月14日(土)
場所:東海大学 湘南キャンパス (平塚市北金目4-1-1)
2014.11.21
PCOS『相変化研究会シンポジウム』パネル出展
会期:2014年12月4日(木)〜12月5日(金)
場所:浜名湖ロイヤルホテル(浜松市西区雄踏町山崎4396-1)
2014.11.21
【SEMICON JAPAN 2014】
(株)アークステーション様ブースにて出展
会期:2014年12月3日(水)~12月5日(金)10:00〜17:00
場所:東京ビックサイト
2014.9.22
JSAP EXPO 2014 Autumn
第75回応用物理学会学術講演会付設展示会(2014年9月17日〜20日)
2014.03.06
「ICPlasma/IC Plants2014」
名城大学 天白キャンパス
2013.11.28
【2013年真空・表面科学合同講演会/第33回表面科学学術講演会 第54回真空に関する連合講演会】

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基板ヒーター製作事例掲載

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製品紹介動画
基板ヒーター, nanoCVD

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