*平成29年1月1日より下記住所へ移転致しました。
◆◇ 新住所 ◇◆
〒103-0027 東京都中央区日本橋3丁目2番14号 新槇町ビル別館第一 2階

(*電話・Fax番号, メールアドレス, 本Web site URLなどは変更ございません。)


真空ホットプレート,CVDヒーター,基板加熱ヒーター

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超高温実験炉, 加熱装置超高温実験炉, 加熱装置

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 CVD, PVD薄膜実験装置

 温度計測機器

 真空コンポーネント

真空装置カスタムメイド

 真空装置カスタムメイド

■ 【BHシリーズ基板加熱ヒーター】大学・研究機関向け限定製品の販売開始 ■

大学・研究機関のお客様に限定した安価で短納期でご提供できる基板加熱ヒーターの販売を開始しました。

(※詳しくは「キャンペーン」ページを参照下さい。)

■ nano ANNEAL ■ 卓上型ウエハーアニール装置

◉ Φ2inch〜Φ6inchウエハー用卓上型高温アニール装置
◉ 最高処理温度 1000℃
◉ MFC x 3系統 高精度プロセスガス制御, APC自動制御
◉ 基板加熱ヒーター:ランプヒーター、CCコンポジット、SiCコーティングヒーター素線
◉ 優れた面内温度分布
◉ 排気系:RP(ドライポンプオプション), TMP
◉ 7"タッチパネル操作
◉ 専用プログラムにて最大30のプロセスレシピを作成保存
◉ Windows PCにUSBで接続、データ管理

➡️ 詳しくはこちらは


■ JSAP EXPO 2017_Autumn ■

*多数の方にご来場頂きまして誠に有難うございました。
第77回応用物理学会秋季学術講演会

2017年9月5日- 8日: 福岡国際会議場


2017.4.21
nanoPVD-T15A卓上型高性能真空蒸着装置・製品情報を掲載開始しました。
2016.10.3
基板加熱ヒーター製作事例写真(セラミック・トップ・ヒーター)を追加しました。
2016.1.11
新製品『ExTemp本質安全防爆赤外線放射温度センサー』販売開始!
2015.6.23
【nanoCVDグラフェン/CNT合成装置】を用いた研究成果が、下記の科学雑誌に掲載されました。
“Advanced Material誌”, “Scientific Reports誌”, “ACS NANO誌”

2017.7.5
第14回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議(ISSP2017)
金沢工業大学 扇が丘キャンパス
多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2016.12.1
プラズマ・核融合学会 年会展示会『Plasma Expo2017』ご来場御礼
東北大学 青葉山キャンパス「カタールサイエンスホール」 (2016.11.29〜12.1)
2016.8.8
JSAP EXPO 2016 Autumn出展
会期:2016年9月13日(火)13:00〜9月16日(金)
場所:朱鷺メッセ 展示ホール
2015.9.11
JSAP EXPO 2015 Autumn出展
会期:2015年9月13日(日)13:00〜9月16日(水)15:30
場所:名古屋国際会議場 イベントホールPA 小間No.AV-13
2015.3.10
JSAP EXPO 2015 Spring出展
会期:2015年3月11日(水)〜3月14日(土)
場所:東海大学 湘南キャンパス (平塚市北金目4-1-1)
2014.11.21
PCOS『相変化研究会シンポジウム』パネル出展
会期:2014年12月4日(木)〜12月5日(金)
場所:浜名湖ロイヤルホテル(浜松市西区雄踏町山崎4396-1)
2014.11.21
【SEMICON JAPAN 2014】
(株)アークステーション様ブースにて出展
会期:2014年12月3日(水)~12月5日(金)10:00〜17:00
場所:東京ビックサイト
2014.9.22
JSAP EXPO 2014 Autumn
第75回応用物理学会学術講演会付設展示会(2014年9月17日〜20日)
2014.03.06
「ICPlasma/IC Plants2014」
名城大学 天白キャンパス
2013.11.28
【2013年真空・表面科学合同講演会/第33回表面科学学術講演会 第54回真空に関する連合講演会】

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基板ヒーター製作事例掲載

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基板ヒーター, nanoCVD

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