*平成29年1月1日より下記住所へ移転致しました。
◆◇ 新住所 ◇◆
〒103-0027 東京都中央区日本橋3丁目2番14号 新槇町ビル別館第一 2階

(*電話・Fax番号, メールアドレス, 本Web site URLなどは変更ございません。)


真空ホットプレート,CVDヒーター,基板加熱ヒーター

 基板加熱ヒーター

超高温実験炉, 加熱装置超高温実験炉, 加熱装置

 超高温実験炉, 加熱装置

薄膜実験装置

 CVD, PVD薄膜実験装置

 温度計測機器

 真空コンポーネント

真空装置カスタムメイド

 真空装置カスタムメイド

■ nano ANNEAL ■ 卓上型ウエハーアニール装置

◉ Φ2inch〜Φ6inchウエハー用卓上型高温アニール装置
◉ 最高処理温度 1000℃
◉ MFC x 3系統 高精度プロセスガス制御, APC自動制御
◉ 基板加熱ヒーター:ランプヒーター、CCコンポジット、SiCコーティングヒーター素線
◉ 優れた面内温度分布
◉ 排気系:RP(ドライポンプオプション), TMP
◉ 7"タッチパネル操作
◉ 専用プログラムにて最大30のプロセスレシピを作成保存
◉ Windows PCにUSBで接続、データ管理

➡️ Moorfield Nanotechnology社 製品紹介ページ

■ 第14回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議 ■(ISSP2017)

パネル出展致します。
・日程:2017年7月5日〜7日

・場所:金沢工業大学 扇が丘キャンパス12号館 アントレプレナーズラボ
・住所:石川県野々市氏扇が丘7-1

ISSP事務局 金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
http://issp2017.jp/index.html
一般社団法人 日本真空学会
http://www.vacuum-jp.org/archives/asvs/asvsj2015

ISSP2017ISSP2017

■ JSAP EXPO 2017_Autumn ■

第77回応用物理学会秋季学術講演会
2017年9月5日- 8日: 福岡国際会議場

■ 2017年紫外発光材料及び素子に関する国際ワークショップ■(IWUMD2017)

・日程:2017年11月15日〜18日
・場所:九州大学医学部 百年講堂(福岡市)

2017.4.21
nanoPVD-T15A卓上型高性能真空蒸着装置・製品情報を掲載開始しました。
2016.10.3
基板加熱ヒーター製作事例写真(セラミック・トップ・ヒーター)を追加しました。
2016.1.11
新製品『ExTemp本質安全防爆赤外線放射温度センサー』販売開始!
2015.6.23
【nanoCVDグラフェン/CNT合成装置】を用いた研究成果が、下記の科学雑誌に掲載されました。
“Advanced Material誌”, “Scientific Reports誌”, “ACS NANO誌”

2016.12.1
プラズマ・核融合学会 年会展示会『Plasma Expo2017』ご来場御礼
東北大学 青葉山キャンパス「カタールサイエンスホール」 (2016.11.29〜12.1)
多数の皆様にご来場いただき御礼申し上げます。
2016.8.8
JSAP EXPO 2016 Autumn出展
会期:2016年9月13日(火)13:00〜9月16日(金)
場所:朱鷺メッセ 展示ホール
2015.9.11
JSAP EXPO 2015 Autumn出展
会期:2015年9月13日(日)13:00〜9月16日(水)15:30
場所:名古屋国際会議場 イベントホールPA 小間No.AV-13
2015.3.10
JSAP EXPO 2015 Spring出展
会期:2015年3月11日(水)〜3月14日(土)
場所:東海大学 湘南キャンパス (平塚市北金目4-1-1)
2014.11.21
PCOS『相変化研究会シンポジウム』パネル出展
会期:2014年12月4日(木)〜12月5日(金)
場所:浜名湖ロイヤルホテル(浜松市西区雄踏町山崎4396-1)
2014.11.21
【SEMICON JAPAN 2014】
(株)アークステーション様ブースにて出展
会期:2014年12月3日(水)~12月5日(金)10:00〜17:00
場所:東京ビックサイト
2014.9.22
JSAP EXPO 2014 Autumn
第75回応用物理学会学術講演会付設展示会(2014年9月17日〜20日)
2014.03.06
「ICPlasma/IC Plants2014」
名城大学 天白キャンパス
2013.11.28
【2013年真空・表面科学合同講演会/第33回表面科学学術講演会 第54回真空に関する連合講演会】

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基板ヒーター製作事例掲載

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基板ヒーター, nanoCVD

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