マグネトロンカソード MAGシリーズ RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード。 LTE 有機蒸着源 低温(80〜600℃)での制御性・応答性に優れた蒸着ソース。安定した蒸着レート、材料の充填・るつぼの交換が容易です。 真空導入端子 ご要望に沿った形状での真空導入端子フランジを製作致します。規格外の特殊サイズフランジにも対応致しますのでご相談下さい。 スパッタリングターゲット 様々な用途に応じたスパッタリングターゲットを販売しております。お気軽にご相談下さい。*Sputter Targets (Moorfield Nanotechnology)サイトへリンクします。 SiC3コーティング カーボン部品 吾高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたSiC(立方晶炭化珪素)。ご要望に応じた形状にて都度設計製作承ります。