薄膜実験装置
コンパクトタイプ薄膜実験装置
薄膜実験装置【nano Benchtop】シリーズ。MiniLabシリーズと同じコンポーネント・制御系を用いた最高スペック仕様ですが、拡張性を省き、コンパクトフレームに必要機能全てを凝縮した「省スペース」「ハイパフォーマンス」装置です。
コンパクトながら性能・品質には一切の妥協が無く、さらに研究室のスペースを有効活用できるプラグ&プレイタイプの薄膜実験装置。WIndows PC用リモート監視ソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」によりオフラインレシピ作成～アップ・ダウンロード、ログ保存、CSVデータ出力、故障解析、装置動作確認が外部PCで可能になりました。
- 真空蒸着（金属・有機材料）
- マグネトロンスパッタリング
- RF/DCプラズマエッチング
- アニール
